Ion implantation : science and technology

Ion implantation science and technology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Ziegler, James F. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston u.a. Acad. Pr. u.a. 1988
Ausgabe:2. ed.
Schlagworte:
Ion implantation > Ions > Implants > Aufsatzsammlung > Ionenimplantation
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Beschreibung
Zusammenfassung:Includes bibliographies and index
Beschreibung:Previous ed.: Orlando : Academic,1984
Beschreibung:IX, 498 S.
graph. Darst.
ISBN:0127806210
0-12-780621-0