Basistechnologien für zukünftige Leistungshalbleiter Teilprojekte: 4.1 Trägerlebensdauer, 4.3 Dotierverfahren, 4.4 Gehäuse- und Montagetechnik, 4.7 Bauelemente-Meßtechnik, 4.8 Modelling ; Contract AS-0004-1 ; Schlußbericht
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
München
1987
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Schriftenreihe: | Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technik
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Beschreibung: | [ca. 120] S. |
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