Surface Modification by plasma-surface interactions Proceedings of the Workshop held in conjunction with the 7. International Conference on Plasma-Surface Interactions

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Argonne National Laboratory (BerichterstatterIn), Princeton Plasma Physics Laboratory (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Krauss, A. R. (HerausgeberIn), Dylla, H. F. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Amsterdam North-Holland 1987
Schriftenreihe:	Nuclear Instruments and methods in physics research. Section B 23,4
Schlagworte:	Konferenzschrift > Oberflächenphysik > Plasma
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