Rapid thermal Processing of electronic materials Symposium held as part of the Materials Research Society Spring Meeting

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Materials Research Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wilson, S. R. (BerichterstatterIn), Powell, R. (BerichterstatterIn), Wilson, Syd R. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, PA Materials Research Society 1987
Schriftenreihe:	Materials Research Society Symposia Proceedings 92
Schlagworte:	Konferenzschrift > Rapid thermal processing
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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