Untersuchung zur Verbesserung der Stabilität von thermischen Oxiden auf poly- und einkristallinem Silizium

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Bernt, Helmut (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1984
Schriftenreihe:	Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung Elektronik T 84-052
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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