Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen - Waferverzüge - Resistvergleich
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein-Leopoldshafen
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
1983
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| Schriftenreihe: | Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie Technologische Forschung und Entwicklung Elektronik
T 83-088 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT NT0835 Als Ms. gedr. - Literaturverz. S. 118 - 122 Mit engl. Zsfassung |
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| Beschreibung: | 122 S Ill., graph. Darst |