The capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Schwarz, S. A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Washington, DC US Gov. Print. Off. 1981
Schriftenreihe:Semiconductor measurement technology 67
Schlagworte:
Semiconductors > Testing > Auger electron spectroscopy > Sputtering (Physics)
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Beschreibung
Beschreibung:Issued September 1981
Includes bibliographical references
Item 247 (microfiche)
Beschreibung:VI, 46 S.
graph. Darst.
4°