Piezoelektrische Sensoren auf Siliziumbasis für akustische Anwendungen

Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss.

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Franz, Joachim (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1988
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 10, Informatik, Kommunikation 87
Schlagworte:	Hochschulschrift > Piezoelektrisches Mikrofon
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