Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Jiang, Xin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jülich Forschungszentrum 1990
Schriftenreihe:	Berichte / Forschungszentrum Jülich 2397
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Freie elektronische Version
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