Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a C:H- und a Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jiang, Xin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1990
Schlagworte:
Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990
Beschreibung:Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2397
Beschreibung:92 S
zahlr. graph. Darst