Chemical mechanical planarization of microelectronic materials

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Steigerwald, Joseph M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Murarka, Shyam P. (VerfasserIn), Gutmann, Ronald J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	New York u.a. J. Wiley 1997
Schlagworte:	Mikroelektronik > Planartechnik
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