Mikrosystemtechnik auf Silizium

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Hilleringmann, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Teubner 1995
Schlagworte:	Integrierte Optoelektronik > CMOS > Siliciumbauelement > Mikrosystemtechnik
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Beschreibung
Beschreibung:	VIII, 229 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:	3519061589