Gettering and defect engineering in semiconductor technology proceedings of the 5th international autumn meeting held in Chossewitz, near Frankfurt (Oder), Germany October 09 - 14, 1993
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Format: | UnknownFormat |
Veröffentlicht: |
Zug
Scitec Publ.
1993
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Schriftenreihe: | Diffusion and defect data : B
32,33 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | 630 S. : Ill., graph. Darst. |
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ISBN: | 3908450004 |