Gettering and defect engineering in semiconductor technology proceedings of the 5th international autumn meeting held in Chossewitz, near Frankfurt (Oder), Germany October 09 - 14, 1993

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: GADEST (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Grimmeiss, Hermann G. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Zug Scitec Publ. 1993
Schriftenreihe:Diffusion and defect data : B 32,33
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:630 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:3908450004