Halbleiter-Technologie : eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen

Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Beneking, Heinz (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Teubner 1991
Schlagworte:
Silicium > Halbleitertechnologie > Drei-Fünf-Halbleiter
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