Halbleiter-Technologie eine Einführung in die Prozeßtechnik von Silizium und III-V-Verbindungen ; mit 30 Tabellen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Beneking, Heinz (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Teubner 1991
Schlagworte:	Silicium > Halbleitertechnologie > Drei-Fünf-Halbleiter
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Beschreibung
Beschreibung:	XI, 812 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
ISBN:	3519061333