Ion implantation

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ryssel, Heiner (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ruge, Ingolf (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Chichester u.a. Wiley 1986
Schlagworte:	Ionenimplantation > Halbleiter
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