Halbleitertechnologie 1 Mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung / Klaus Schade

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Schade, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin Verl. Technik 1981
Ausgabe:	1. Aufl.
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Beschreibung
Beschreibung:	238 S. : Ill., graph. Darst.