Ion implantation, sputtering and their applications

Ion implantation, sputtering and their applications

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Townsend, Peter D. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Kelly, John C. (VerfasserIn), Hartley, Nicholas E. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: London u.a. Academic Press 1976
Schlagworte:
Sputtern > Ionenimplantation > Ionenstrahl > Zerstäubung > Anwendung
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Beschreibung
Beschreibung:IX, 333 S. : graph. Darst.
ISBN:0126969507