<<Ein>> Beitrag zur automatischen Markenerkennung in der Elektronenstrahl-Lithographie

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1981

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stephani, Dietrich (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1981
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Beschreibung
Zusammenfassung:Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1981
Beschreibung:III, 136 S. : Ill., graph. Darst.