Three-dimensional-nanopatterned resonant silicon microcantilevers for gas detection
Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2020
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
München
Verlag Dr. Hut
2021
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| Ausgabe: | 1. Auflage |
| Schriftenreihe: | Elektrotechnik
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltstext http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-4735-0.html |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2020 |
|---|---|
| Beschreibung: | xxi, 145 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm x 14.8 cm, 281 g |
| ISBN: | 9783843947350 978-3-8439-4735-0 384394735X 3-8439-4735-X |