Entwurf, Modellierung und Realisierung eines kammstrukturbasierten MEMS-Mikrofons
Dissertation, Technische Universität München, 2020
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Düren
Shaker Verlag
2020
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| Schriftenreihe: | Selected topics of electronics and micromechatronics
Volume 51 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Volltext Volltext |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Dissertation, Technische Universität München, 2020 |
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| Beschreibung: | VI, 111 Seiten Illustrationen, Diagramme |
| ISBN: | 9783844075571 978-3-8440-7557-1 |