Modellbasierte Regelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Amthor, Arvid (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2010
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 8, Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik ; 1179
Schlagworte:	Mathematisches Modell > Folgeregelung > Bahnsteuerung > Positionierantrieb > Reglerentwurf > Nanometerbereich > Präzisionsmessung > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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