Introductory MEMS fabrication and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Adams, Thomas McConnell (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Layton, Richard A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York u.a. Springer 2010
Schlagworte:	Electronic apparatus and appliances > Microelectromechanical systems > Transducers > Programmiersprache > MEMS > Automatentheorie > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	XV, 444 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	9780387095103 978-0-387-09510-3 9780387095110 978-0-387-09511-0