Papers from the AVS 55th International Symposium and Exhibition 19 - 24 October 2008, Boston, Massachusetts

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	American Vacuum Society (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York American Inst. of Physics 2009
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science & technology : A 27,4
Schlagworte:	Vakuumphysik > Konferenzschrift
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