Papers from the 54th International Symposium of AVS 14 - 19 October 2007, Seattle, Washington
Gespeichert in:
Körperschaft: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | und |
Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
2008
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Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology / A
26,4 |
Schlagworte: | |
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Beschreibung: | Einzelaufn. eines Zeitschr.-Heftes |
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Beschreibung: | S. 648 - 1100 Ill., graph. Darst. |