Synergismen bei der Erosion von amorphen Kohlenwasserstoffschichten mit niederenergetischen und thermischen Teilchenstrahlen eine In-Situ-Ellipsometriestudie

Bayreuth, Univ. Diss. 2008

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schlüter, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:	Amorpher Zustand > Kohlenwasserstoffe > Teilchenstrahlung > Dünne Schicht > Hochschulschrift
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