Synergismen bei der Erosion von amorphen Kohlenwasserstoffschichten mit niederenergetischen und thermischen Teilchenstrahlen eine In-Situ-Ellipsometriestudie
Bayreuth, Univ. Diss. 2008
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
2008
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Zusammenfassung: | Bayreuth, Univ. Diss. 2008 |
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Beschreibung: | Auch als Online-Diss. unter der URL: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bvb:703-opus-4437 |
Beschreibung: | 86, XI S. graph. Darst. |