Dielectric thin films for future ULSI devices science and technology ; [... papers presented at the 2006 International Workshop on "Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology (IWDTF-6), which was held in Kanagawa, from November 8 through 10, 2006]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2007
|
| Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics : Part 1, Regular papers, brief communications & review papers
46,5B : Special issue |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Tag hinzufügen | Beschreibung: | Einzelaufnahme eines Zeitschr.-Heftes |
|---|---|
| Beschreibung: | S. 3167 - 3282, 13 S. Ill., graph. Darst. |