Mikrosystemtechnik Mikromechanik & Mikroelektronik

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik 2007
Schlagworte:	Mikromechanik > Mikrosystemtechnik > Mikroelektronik > Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben
Beschreibung:	VI, 154 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:	9783000221682 978-3-00-022168-2