Papers from the 52nd International Symposium of AVS 30 October - 4 November 2005, Boston, Massachusetts
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
2006
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| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology / A
24,4 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Einzelaufn. eines Zeitschr.-Heftes |
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| Beschreibung: | S. 1156 - 1689 Ill., graph. Darst. |