Proceedings of the Joint Meeting of the 7th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and the 17th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) Fukuoka, Japan, June 29 - July 2, 2004

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (VerfasserIn), Symposium on Plasma Science for Materials (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Watanabe, Yukio (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2006
Schriftenreihe:	Thin solid films 506/507
Schlagworte:	Plasmatechnik > Konferenzschrift
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