Papers from the 6th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces 21 - 23 March 2005, Santa Clara, California

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Rogers, Bridget R. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York American Inst. of Physics 2005
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science & technology : B 23,5
Schlagworte:	Grenzschicht > Mikroelektronik > Konferenzschrift > Kongress - Santa Clara <Calif., 2005> - Grenzschicht - Mikroelektronik
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Beschreibung
Beschreibung:	Einzelaufnahme eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:	S. 2179 - 2253 Ill., graph. Darst.