Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Freiberger Siliciumtage (BerichterstatterIn), Freiberger Forschungsforum (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Möller, Hans Joachim (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg TU Bergakad. 2004 Freiberg Akad. Buchh.
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Freiberger Forschungshefte B, Werkstofftechnologie ; 327
Schlagworte:	Siliciumhalbleiter > Konferenzschrift
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