Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik

Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Freiberger Siliciumtage (BerichterstatterIn), Freiberger Forschungsforum (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Möller, Hans Joachim (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Freiberg TU Bergakad. 2004
Freiberg Akad. Buchh.
Ausgabe:1. Aufl.
Schriftenreihe:Freiberger Forschungshefte B, Werkstofftechnologie ; 327
Schlagworte:
Siliciumhalbleiter > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben
Beschreibung:291 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:3860122185
3-86012-218-5