Modeling and optimization of cluster tools in semiconductor manufacturing
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Würzburg
Institut für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme
2004
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| Schriftenreihe: | Würzburger Beiträge zur Leistungsbewertung verteilter Systeme
2004,1 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl.: Würzburg, Univ., Diss., 2004 |
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| Beschreibung: | IV, 149 S. Ill., graph. Darst. |