Microprocesses and nanotechnology [15th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002), ... , Tokyo, Japan from November 6 through 8, 2002]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Ochiai, Yukinori (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo IPAP 2003
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics / 1 42,6B
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:S. 3731 - 4180, 15 S.
Ill., graph. Darst.