Microprocesses and nanotechnology [15th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002), ... , Tokyo, Japan from November 6 through 8, 2002]
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Tokyo
IPAP
2003
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Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics / 1
42,6B |
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Beschreibung: | Einzelaufn. eines Zeitschr.-H. |
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Beschreibung: | S. 3731 - 4180, 15 S. Ill., graph. Darst. |