Proceedings from the Joint International Plasma Symposium of the 6th Asia Pacific Conference on Plasma & Technology (6th APCPST), the 15th Symposium on Plasma Science for Materials (15th SPSM), & the 11th Korea Accelerator & Plasma Research Association Annual Conference (11th KAPRA) Jeju Island, Korea, 1 - 4 July, 2002

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Joint International Plasma Symposium (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sakuta, Tadahiro (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2003
Schriftenreihe:	Thin solid films 435,1/2
Schlagworte:	Plasmatechnik > Konferenzschrift
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!