Current and future silicon based thin-film structures for electronic applications epitaxy and crystalline deposition on amorphous substrates
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
2002
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Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Erlangen-Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2002. - Enth. Zsfassung in engl. und dt. Sprache |
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Beschreibung: | 307 S. Ill., graph. Darst. |