Evaluation of multilayer reference coatings for quantitative glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES) and other depth profiling techniques ; report on an inter-laboratory comparison

Evaluation of multilayer reference coatings for quantitative glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES) and other depth profiling techniques ; report on an inter-laboratory comparison

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Beck, Uwe (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 2001
Schriftenreihe:VAMAS A4 : Technical working area 2
Schlagworte:
Glimmentladungsspektroskopie > Mehrschichtsystem > Internationale Kooperation > Ringversuch > Bezugsmaterial > Tiefenprofilmessung
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Beschreibung
Beschreibung:59 S.
graph. Darst.
ISBN:389701713X
3-89701-713-X