Proceedings of the 5th Asia Pacific Conference on Plasma Science & Technology and the 13th Symposium on Plasma Science for Materials Dalian, China, 10 - 13 September, 2000

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (VerfasserIn), Symposium on Plasma Science for Materials (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tachibana, Kunihide (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2001
Schriftenreihe:	Thin solid films 390
Schlagworte:	Plasma engineering > Plasmaphysik > Plasmatechnik > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Einzelaufnahme eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:	VII, 254 S. Ill., graph. Darst.