Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2000

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Achenbach, Sven (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pantenburg, Franz Josef (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe FZKA 2000
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6576
Schlagworte:	Mikrostruktur > Röntgenlithografie > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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