Modellierung des industriellen FZ-Prozesses zur Züchtung von Silizium-Einkristallen
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2001
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI
Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 330 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Beschreibung: | Zugl.: Hannover, Univ., Diss. |
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Beschreibung: | XII, 159 S. graph. Darst. |
ISBN: | 3183330091 3-18-333009-1 |