Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Billep, Detlef (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1999
Schlagworte:
Mikrosystemtechnik > Mehrkörpersystem > Siliciumsensor > Finite-Elemente-Methode > Drehratensensor > PSPICE > Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2000
Beschreibung:169 S.
Ill., graph. Darst.