Proceedings of the 2nd International Workshop on Basic Aspects of Non-Equilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (BANPIS 2000), Huis Ten Bosch, Nagasaki, Japan, January 28 - 30, 2000

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Workshop on Basic Aspects of Nonequilibrium Plasmas Interacting with Surfaces (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Tachibana, Kunihide (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 2000
Schriftenreihe:Thin solid films 374,2
Schlagworte:
Microelectronics > Nonequilibrium plasmas > Plasma etching > Surfaces (Physics) > Surfaces (Technology) > Wechselwirkung > Festkörperoberfläche > Plasma > Nichtgleichgewicht > Konferenzschrift
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:VI S., S.144 - 333
Ill., graph. Darst.