Microprocesses and nanotechnology [12th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC'99), Yokohama, July 6-8, 1999]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Junji Itoh (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Japanese Journal of Applied Physics 1999
Schriftenreihe:	Japanese Journal of Applied Physics / 1 38,12,2 : special issue
Schlagworte:	Nanotechnologie > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Einzelaufnahme eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:	S. 6957 - 7275 Ill., graph. Darst.