Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Nanostrukturen
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
München
Walter-Schottky-Inst.
1999
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Selected topics of semiconductor physics and technology
26 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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