Herstellung und Charakterisierung von Silizium-Nanostrukturen

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Groos, Gerhard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	München Walter-Schottky-Inst. 1999
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Selected topics of semiconductor physics and technology 26
Schlagworte:	Nanostruktur > Silicium > Dünne Schicht > Hochschulschrift
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