Integriert-optisches Mikrospektrometersystem

Zugl.: Hamburg, Techn. Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Sander, Dietmar (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1999
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8] 790
Schlagworte:	Lichtwellenleiter > Dünne Schicht > Integriert-optisches Bauelement > Spektrometer > Siliciumoxinitride > Mikrosystemtechnik > Hochschulschrift
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