Microprocesses & nanotechnology

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Aoyagi, Yoshinobu (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo JJAP 1998
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics / 1 37,12B : special issue
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Beschreibung
Beschreibung:Einzelaufn. eines Zeitschr.-Heftes
Beschreibung:S. 6669 - 7207
zahlr. Ill. u. graph. Darst.