Ion implantation into semiconductors, oxides and ceramics proceedings of the E-MRS 1998 Spring Meeting Symposium J on Ion Implantation into Semiconductors, Oxides and Ceramics, Strasbourg, France, 16 - 19 June 1998

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Symposium Ion Implantation into Semiconductors, Oxides and Ceramics (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Lindner, Jörg K. N. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. North-Holland 1999
Schriftenreihe:	Nuclear instruments & methods in physics research / B 147,1/4
Schlagworte:	Ionenimplantation > Halbleiter > Oxide > Keramik > Konferenzschrift
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